超纯水检测
概述
1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。
3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
4、高压变电器的清洗等。
检测项目
电阻率测试、蒸发后残留物测试、细菌测试、液态尘粒测试(LPC test)、硅油总量测试、离子测试、金属离子测试、溶解氧测试等。
检测标准
ASTM D4453-2011:超纯水试样处理规程
ASTM D5127-2007:电子和半导体工业用超纯水的指南
ASTM D7980-2015:对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南
JIS K0550-1994:超纯水中细菌数的试验方法
JIS K0551-1994:超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法
JIS K0552-1994:超纯水中电导率的试验方法
JIS K0553-2002:超纯水中金属元素的试验方法
JIS K0554-1995:超纯水中微粒子测定方法
JIS K0555-1995:超纯水中二氧化硅的试验方法
JIS K0556-1995:超纯水中阴离子的试验方法